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雷尼绍高精度激光干涉仪

简要描述:雷尼绍高精度激光干涉仪,中国慧眼,服务全球制造业
面对快速发展的智能装备市场,我们以检测设备为根本,坚持机器视觉领域,以技术为主导。在实现工业智能中国梦的道路上前进!

  • 产品型号:XM-60
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-11-23
  • 访  问  量:425

详细介绍

雷尼绍高精度激光干涉仪

中国慧眼,服务全球制造业

面对快速发展的智能装备市场,我们以检测设备为根本,坚持机器视觉领域,以技术为主导。在实现工业智能中国梦的道路上前进!

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激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今*的高精度、高灵敏度的测量仪器,在制造领域应用广泛。

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

它的系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


雷尼绍高精度激光干涉仪

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